信息概要

PMUT（压电微机械超声换能器）阵列是由多个微型压电超声换能器单元按一定规律排列组成的传感器系统，广泛应用于医学成像、工业无损检测、距离传感和手势识别等领域。对PMUT阵列进行系统测试至关重要，它能够确保阵列的声学性能、一致性和可靠性，从而保障终端设备的精确度和安全性。检测主要涵盖谐振频率、阻抗特性、声压输出等关键参数，以验证其是否符合设计规格和应用需求。

检测项目

谐振频率, 反谐振频率, 机电耦合系数, 静态电容, 动态电阻, 品质因数, 声压级, 声束宽度, 指向性图案, 插入损耗, 串扰水平, 相位一致性, 灵敏度, 阻抗幅值, 阻抗相位, 谐波失真, 脉冲响应, 频率响应带宽, 耐久性测试, 温度特性

检测范围

线性阵列PMUT, 二维面阵PMUT, 环形阵列PMUT, 凸阵PMUT, 高频PMUT阵列, 低频PMUT阵列, 微型PMUT阵列, 柔性PMUT阵列, 医用成像PMUT, 工业检测PMUT, 水下声呐PMUT, 手势识别PMUT, 距离测量PMUT, 生物传感PMUT, 消费电子PMUT, 汽车雷达PMUT, 航空航天PMUT, 封装后PMUT模组, 单晶PMUT阵列, 多晶PMUT阵列

检测方法

激光多普勒测振法：通过激光非接触测量PMUT振动位移，评估谐振特性。

阻抗分析仪法：利用阻抗分析仪测量电学参数如阻抗和相位。

水听器测量法：在水槽中使用水听器检测声压输出和声场分布。

网络分析仪法：分析频率响应和传输特性。

显微镜检查法：通过光学或电子显微镜观察阵列结构和缺陷。

温度循环测试法：在不同温度下测试性能变化。

脉冲回波法：发射脉冲信号并分析回波以评估声学性能。

有限元模拟法：使用软件模拟预测声学和机械行为。

频谱分析法：分析输出信号的频谱成分。

扫频测试法：扫描频率范围测量响应曲线。

噪声测试法：评估背景噪声和信噪比。

耐久性测试法：进行长时间循环测试检验寿命。

X射线检测法：检查内部结构和连接完整性。

热成像法：利用红外相机检测热分布。

声学摄像头法：可视化声场以分析指向性。

检测仪器

阻抗分析仪, 激光多普勒测振仪, 水听器, 网络分析仪, 数字存储示波器, 信号发生器, 频谱分析仪, 显微镜, 温度试验箱, 声学摄像头, X射线检测系统, 热像仪, 数据采集卡, 功率放大器, 精密电源

PMUT阵列测试通常包括哪些关键参数？关键参数包括谐振频率、阻抗特性、声压输出和相位一致性，这些直接影响阵列的声学性能和可靠性。

为什么PMUT阵列测试在医疗应用中很重要？在医疗应用中，如超声成像，PMUT阵列测试确保图像清晰度和安全性，避免误诊，通过检测声束质量和一致性来保障设备精度。

如何选择合适的PMUT阵列检测方法？选择方法需基于应用场景，例如使用激光多普勒测振法评估振动特性，水听器法适合声学测试，结合阻抗分析以全面覆盖电学和声学参数。