信息概要

薄膜Fano共振实验是一种基于光学干涉原理的高精度检测技术，主要用于分析薄膜材料的光学特性、结构参数及表面形貌。该技术通过Fano共振现象，能够实现对薄膜厚度、折射率、吸收系数等关键参数的灵敏测量，广泛应用于光学镀膜、半导体、光伏、显示器件等领域。检测的重要性在于确保薄膜产品的性能稳定性、一致性和可靠性，为生产工艺优化和质量控制提供科学依据。

检测项目

薄膜厚度,折射率,消光系数,表面粗糙度,透射率,反射率,吸收率,光学带隙,偏振特性,散射损耗,均匀性,应力分布,缺陷密度,粘附力,硬度,耐磨性,耐腐蚀性,热稳定性,化学组成,界面特性

检测范围

光学增透膜,反射膜,滤光片,ITO导电膜,AR镀膜,防眩光膜,硬质涂层,柔性显示薄膜,光伏背板膜,半导体钝化层,纳米多层膜,金属氧化物薄膜,聚合物薄膜,超疏水涂层,透明导电薄膜,磁性薄膜,生物传感膜,介电薄膜,阻隔膜,装饰镀膜

检测方法

椭圆偏振法：通过测量偏振光反射后的振幅和相位变化计算薄膜光学常数。

光谱反射/透射法：分析宽光谱范围内光强变化确定薄膜特性。

原子力显微镜(AFM)：纳米级表面形貌和粗糙度表征。

X射线衍射(XRD)：薄膜晶体结构和应力分析。

扫描电子显微镜(SEM)：微观形貌和截面厚度观测。

X射线光电子能谱(XPS)：表面化学组成和元素价态分析。

傅里叶变换红外光谱(FTIR)：分子振动模式与化学键检测。

白光干涉仪：亚纳米级厚度和表面轮廓测量。

激光共聚焦显微镜：三维表面形貌重建。

纳米压痕仪：薄膜硬度和弹性模量测试。

四探针电阻仪：薄膜方阻和导电性测量。

紫外-可见分光光度计：光学透过率与吸收特性检测。

拉曼光谱：材料分子结构和应力分布分析。

台阶仪：微米级厚度和台阶高度测量。

接触角测量仪：表面润湿性和自由能评估。

检测仪器

椭偏仪,分光光度计,原子力显微镜,X射线衍射仪,扫描电镜,X射线光电子能谱仪,傅里叶红外光谱仪,白光干涉仪,激光共聚焦显微镜,纳米压痕测试仪,四探针测试仪,紫外可见分光光度计,拉曼光谱仪,台阶仪,接触角测量仪