信息概要

衍射干涉脉冲响应图样检测是光学元件及精密仪器制造领域的核心质量评估手段，通过分析光波经过被测物体后的干涉与衍射特性，精准评估其表面形貌、波前畸变和传输性能。该检测对高精度光学系统（如光刻机镜头、激光陀螺仪、天文望远镜）的性能保障至关重要，直接影响成像分辨率、能量效率和信号保真度，是尖端装备制造质量控制中不可替代的环节。

检测项目

表面粗糙度, 峰谷误差, 均方根梯度, 波前畸变量, 条纹对比度, 点扩散函数, 调制传递函数, 相位均匀性, 光斑椭圆度, 衍射效率, 像散系数, 彗差容限, 球差容限, 色散特性, 偏振敏感性, 透射波前误差, 反射波前误差, 空间频率响应, 非线性失真度, 脉冲响应对称性

检测范围

平面反射镜, 球面透镜, 非球面透镜, 菲涅尔透镜, 衍射光学元件, 光栅, 棱镜, 激光谐振腔镜, 光学窗口片, 滤光片, 分束器, 偏振片, 光纤端面, 微透镜阵列, 投影物镜, 天文望远镜主镜, 红外光学镜头, 紫外固化镜组, X射线聚焦镜, 全息光学元件

检测方法

相移干涉法：通过相位调制获取高精度三维形貌数据

白光扫描干涉术：利用宽带光源消除相干噪声，适用于阶梯状结构

夏克-哈特曼波前传感：通过微透镜阵列分割波前进行局部斜率分析

傅里叶变换轮廓术：将空间载频与傅里叶分析结合实现快速测量

数字全息显微术：记录全息图并数值重建复杂波前

激光共焦显微法：使用共聚焦针孔提升纵向分辨率

剪切干涉测量：通过自参考波前简化光学系统配置

莫尔偏折法：利用栅线畸变分析光学梯度分布

动态散射干涉：专用于超光滑表面的亚埃级精度检测

双波长干涉术：扩展单波长测量的不模糊范围

偏振相移干涉：消除偏振相关误差对测量精度的影响

同步移相干涉：单帧采集多幅相移干涉图提升抗振性

点衍射干涉：利用小孔滤波生成理想参考球面波

径向剪切干涉：通过波前径向缩放实现自校准测量

波长扫描干涉：通过调谐激光频率获取深度方向信息

检测仪器

菲佐干涉仪, 泰曼-格林干涉仪, 移相式激光干涉仪, 白光干涉仪, 数字全息显微镜, 激光共聚焦显微镜, 哈特曼波前传感器, 电子散斑干涉系统, 莫尔偏折仪, 点衍射干涉装置, 波长调谐干涉仪, 同步移相干涉系统, 径向剪切干涉仪, 动态光散射分析仪, 纳米表面轮廓仪